Laboratoire de physicochimie des matériaux (LPCM)

Caractéristiques techniques

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-Réacteur de dépôt en acier inoxydable.
Gaz : argon, azote, oxygène.
-Cathodes : 1 source diode radiofréquence de dimension entre 3 et 5 pouces.
1 source triode magnétron de dimension entre 3 et 5 pouces.
-Densité de puissance à partir de 10 W/cm².
-Polarisation substrat.
-Porte substrat rotatif et positionnable. Chauffant allant jusqu’à 300°C.
-Système de pompage : pompe primaire et pompe turbo moléculaire.
-Moteur pour dépôt sur des pièces en rotation.
-Passage en mode réactif (contrôle des débits de gaz).
-Système de contrôle électrique automatisé relié à un ordinateur.
-Système de refroidissement à eau.
-Cibles :Zn,Sn,Al,Ti,Cr,Ni,Fe,Cu,au,Pt,Pd,ZnO,SnO2,SiO2,TiO2,TiN,AIN…
-Volet de réglage diam 200